Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
모형: Boron11 Trichloride
지불 유형: L/C,T/T,Paypal
붕소 11 트리클로 라이드 반도체 도펀트 반도체 드라이 에칭
제품 소개
정상 온도 및 압력에서, 붕소 트리클로라이드 (BCL 3 )는 무색 연기 가스이며, 이는 가연성, 매운 산성 냄새입니다. 붕소 트리클로 라이드는 염산과 붕산으로 분해되어 물과의 많은 열을 방출하고, 가수 분해로 인해 습식 공기에서 연기를 생성하고, BCl 3은 염산 및 알코올의 붕산 에스테르로 분해됩니다. 붕소 트리클로 라이드는 강한 반응 능력을 가지며 다양한 배위 화합물을 형성 할 수 있습니다. 붕소 트리클로라이드는 가열 될 때 유리 및 세라믹과 반응 할 수 있으며, 많은 유기 화합물과 반응하여 다양한 유기농 화합물을 형성합니다. 고순도 붕소 11 트리클로라이드는 주로 (실리콘) 반도체 장치의 제조 공정에서 확산 도핑에 주로 사용됩니다. 붕소 불순물은 BCL 3 의 분해를 통해 생성되고 실리콘으로 확산되어 고온에서 P 형 반도체를 형성한다. BCL 3은 또한 AL, MOSI 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI 및 기타 재료 의 건조 에칭에도 사용될 수 있습니다 .
품질 사양
|
items |
Units |
Index |
|
Boron11 Trichloride≥ |
Vol.% |
99.9995 |
|
Oxygen+Argon< |
Vol.ppm |
1 |
|
Nitrogen< |
Vol.ppm |
4 |
|
Ca rbon monoxide< |
Vol.ppm |
0.5 |
|
Carbon dioxide< |
Vol.ppm |
0.2 |
|
Methane < |
Vol.ppm |
0.5 |
|
Total impurity content≤ |
Vol.ppm |
5 |
|
Metal ion |
Vol.ppm |
Supply and demand agreement |
애플리케이션
붕소 트리클로 라이드는 높은 순수 붕소, 유기 합성을위한 촉매, 실리케이트 분해를위한 플럭싱 제를 제조하는데 사용될 수 있으며, 합금 정제에서 데 옥시 디저, 질화물 및 탄화물의 첨가제로서 사용됩니다. 높은 순수 붕소 11 트리클로라이드는 주로 확산 도핑, 이온 이식, 건식 에칭 및 반도체 장치 및 통합 회로 제조의 기타 공정에 사용됩니다.
포장 및 저장
붕소 11 트리클로라이드는 실린더에 채워집니다. 붕소 11 트리클로라이드로 채워진 실린더는 GB14193의 관련 조항을 준수합니다. 포장 사양에는 10L 및 47L이 포함되어 있으며 제품은 60 ° 이하의 그늘진 건조 및 환기 창고에 저장됩니다 . 태양에 노출되어 열원을 막는 것은 금지되어 있습니다. 패키지는 봉인되어야하며 Alkali 및 기타 유해 기사와 함께 별도로 저장해야합니다.
제품 디렉토리 : 안정적인 동위 원소 재료 > 재료 안정적인 동위 원소
모바일 사이트
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