Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
모형: Boron11
지불 유형: L/C,T/T,Paypal
Boron11 반도체 도펀트 반도체 드라이 에칭
제품 소개
트리 에틸 붕소 11 산은 또한 에틸 붕산염 및 트리에 톡시 붕소라고도합니다. 화학적 공식은 C6H15BO3이고, 분자량은 145.99이고, 용융점은 -84.5 ° C이고, 비등점은 117.5 ° C입니다. 트리 에틸 붕소 11 산은 약간의 냄새와 놀라운 열 안정성을 갖는 무색 및 투명한 액체이다. 에탄올과 에테르로는 무관하고 물에서 분해됩니다. 트리 에틸 붕소 11 산산은 실리콘 웨이퍼의 표면에 얇은 층에 통합 될 도핑 소스로서 사용될 수 있으며, 반도체의 전기 화학적 특성을 변경하기 위해 지정된 양에 도달하고 필요한 분포 형태를 충족시킬 수있다. , PN 접합부, 저항, 상호 연결선 등을 생성 할 수 있습니다.
품질 사양
|
items |
Units |
Index |
|
Boron11 ≥ |
Vol.% |
99.9995 |
|
Oxygen+Argon< |
Vol.ppm |
1 |
|
Nitrogen< |
Vol.ppm |
4 |
|
Ca rbon monoxide< |
Vol.ppm |
0.5 |
|
Carbon dioxide< |
Vol.ppm |
0.2 |
|
Methane < |
Vol.ppm |
0.5 |
|
Total impurity content≤ |
Vol.ppm |
5 |
|
Metal ion |
Vol.ppm |
Supply and demand agreement |
애플리케이션
트리 에틸 붕소 11 산은 또한 에틸 붕산염 및 트리에 톡시 붕소라고도합니다. 화학적 공식은 C6H15BO3이고, 분자량은 145.99이고, 용융점은 -84.5 ° C이고, 비등점은 117.5 ° C입니다. 트리 에틸 붕소 11 산은 약간의 냄새와 놀라운 열 안정성을 갖는 무색 및 투명한 액체이다. 에탄올과 에테르로는 무관하고 물에서 분해됩니다. 트리 에틸 붕소 11 산산은 실리콘 웨이퍼의 표면에 얇은 층에 통합 될 도핑 소스로서 사용될 수 있으며, 반도체의 전기 화학적 특성을 변경하기 위해 지정된 양에 도달하고 필요한 분포 형태를 충족시킬 수있다. , PN 접합부, 저항, 상호 연결선 등을 생성 할 수 있습니다.
제품 디렉토리 : 안정적인 동위 원소 재료 > 원자력 안전 재료
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