탄탈륨 불소 TAF5 화학 결정 물질

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모형: Tantalum(V) Fluoride CAS: 7783-71-3

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탄탈 (V) 불소 CAS : 7783-71-3 TAF5 99.9% 3N 화학 결정 재료 반도체 공정 재료

제품 소개

탄탈 (V) 불소 (TAF ₅ )는 실온에서 강한 굴절 능력을 갖는 백색 결정이며, 상대 분자 질량은 276이고, 용융점은 96.8 ℃이고, 비등점은 229.5 ℃이다. 탄탈 (V) 플루오 라이드는 이황화 탄소 및 테트라 클로라이드의 뜨거운 용액에 약간 용해되며, 물과 에테르, 수경 유산산, 질산 질산 질산에 가용성이 있으며, 가수 분해가없는 공기에서 흡습성이다. 높은 순수한 탄탈 룸 (V) 불화물은 미세 전자 산업에서 용해되어 방탈 룸 실살 또는 탄탈 룸 필름의 화학 기상 증착을 위해, 저항성이 낮고 녹는 점을 갖는 상호 연결 및 그리드 전극을 생성하기 위해. 접착력, 두께 0.1 μm 및 전자 성분의 표면, 반도체 장치, 티타늄, 금속 질화물 전극 및 금속 텅스텐 표면의 높은 유전 상수.

품질 사양

Tantalum pentafluoride≥	Vol.%	99.9
Carbon tetrafluoride（CF₄）≤	Vol.ppm	10
Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	50
Oxygen+Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	50
Sulfur hexafluoride（SF₆）≤	Vol.ppm	10
Silicon tetrafluoride（SiF₄）≤	Vol.ppm	10
Hydrogen fluoride（HF）≤	Vol.ppm	800

응용 프로그램

탄탈 룸 (V) 불소는 미세 전자 산업에서 저항성이 낮고 융점이 높은 상호 연결 및 그리드 전극을 생성하기 위해 탄탈 룸 실살 또는 탄탈 룸 필름의 화학 기상 증착을 위해 미세 전자 산업에서 사용된다.

포장 、 스토리지

탄탈 (V) 불소는 강철 실린더에 저장됩니다. 4.64L/10.2L/44L의 포장 사양을 사용하면 특정 포장 사양을 사용자 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다. 탄탈 룸 (V) 불소는 그늘진 건조 창고에 저장됩니다.

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