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ZSEM은 칩 제조를보다 쉽게 만들기 위해 다양한 고급 불소 함유 전자 특수 가스 및 유기 용매를 생산합니다. 비상 웨이퍼 청소 작업은 웨이퍼를 제조 할 때 수행되는 가장 반복적으로 수행되는 절차 중 하나입니다. 끊임없이 변화하는 기술과 장치 축소 속성으로 인해 청소 공정은 매번 복잡해집니다. 웨이퍼 오염 물질은 직경 범위가 0.1 ~ 20 미크론, 유기 및 무기 오염 물질 및 불순물을 갖는 입자에서 범위입니다. 웨이퍼 청소는 최종 표면에 추가 불순물 또는 오염 물질을 도입하지 않고 수행해야합니다.
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