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모형: Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6
지불 유형: L/C,T/T,Paypal
헥사 플루오로 에탄 CAS : 76-16-4 C2F6 Hight 순도
반도체 에센트 가스의 경우 99.999% 5N
제품 소개
퍼플 루오로 에탄으로도 알려진 헥사 플루오로 에탄 (C 2 F 6 )은 일종의 무색, 무취, 비유 성 불활성 가스입니다. 정상 온도와 압력에서, 용융점은 100.6 ℃이고, 비등점은 78.2 ℃이며, 물에 약간 용해됩니다. 헥사 플루오로 에탄은 R125 및 불소 가스의 반응에 의해 생성 된 후 정제 및 정류 후 전자 등급 생성물을 얻었다. 비 독성, 무취 및 높은 안정성으로 인해 Hexafluoroethane은 반도체 제조 공정에서 널리 사용됩니다. 건조한 식생기로서 헥사 플루오로 에탄은 매우 작은 가장자리 측 에칭, 높은 에칭 속도 및 높은 정확도의 장점을 가지고 있으며, 이는 작은 라인폭에 대한 반도체 제조 공정의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.
품질 사양
Items |
Unit |
Indexs |
C2F6 |
Vol.% |
≥99.999 |
O2+Ar |
Vol.ppm |
<1 |
N2 |
Vol.ppm |
<5 |
CO |
Vol.ppm |
<0.5 |
CO2 |
Vol.ppm |
<0.5 |
H2 |
Vol.ppm |
<0.5 |
Halohydrocarbon |
Vol.ppm |
<5 |
CH4 |
Vol.ppm |
<1 |
H2O |
Vol.ppm |
<2 |
Acidity(Measured by HF) |
Wt. ppm |
<0.1 |
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
애플리케이션
전자 등급 헥사 플루오로 에탄은 주로 에칭 제 및 세정제로서 반도체 재료 및 반도체 장치의 제조 공정 및 절연 가스 및 고 유전체 강도 냉각수로 사용됩니다.
포장 및 저장
헥사 플루오로 에탄은 CGA 타입 320 교체 가능한 표준 피팅에 일치하는 관절이있는 황동 밸브가 장착 된 고압 저항성 실린더로 채워집니다. 포장 사양은 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.
제품 디렉토리 : 반도체 전자 화학 물질 > 불소 함유 고순도 전자 특수 가스
모바일 사이트
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