Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd

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제품 리스트반도체 전자 화학 물질불소 함유 고순도 전자 특수 가스반도체 에센트 가스에 대한 헥사 플루오로 에탄 C2F6 Hight 5N

반도체 에센트 가스에 대한 헥사 플루오로 에탄 C2F6 Hight 5N

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Overview
제품 속성

모형Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6

공급 능력 및 추가 정보

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포장 및 배송
판매 단위:
Gram

헥사 플루오로 에탄 CAS : 76-16-4 C2F6 Hight 순도

반도체 에센트 가스의 경우 99.999% 5N


제품 소개

퍼플 루오로 에탄으로도 알려진 헥사 플루오로 에탄 (C 2 F 6 )은 일종의 무색, 무취, 비유 성 불활성 가스입니다. 정상 온도와 압력에서, 용융점은 100.6 ℃이고, 비등점은 78.2 ℃이며, 물에 약간 용해됩니다. 헥사 플루오로 에탄은 R125 및 불소 가스의 반응에 의해 생성 된 후 정제 및 정류 후 전자 등급 생성물을 얻었다. 비 독성, 무취 및 높은 안정성으로 인해 Hexafluoroethane은 반도체 제조 공정에서 널리 사용됩니다. 건조한 식생기로서 헥사 플루오로 에탄은 매우 작은 가장자리 측 에칭, 높은 에칭 속도 및 높은 정확도의 장점을 가지고 있으며, 이는 작은 라인폭에 대한 반도체 제조 공정의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

품질 사양

 Items

Unit

Indexs

C2F6

Vol.%

≥99.999

O2+Ar

Vol.ppm

1

N2

Vol.ppm

5

CO

Vol.ppm

0.5

CO2

Vol.ppm

0.5

H2

Vol.ppm

0.5

Halohydrocarbon

Vol.ppm

5

CH4

Vol.ppm

1

H2O

Vol.ppm

2

AcidityMeasured by HF

Wt. ppm

0.1

Total impurity content

Mol.ppm

≤10



애플리케이션

전자 등급 헥사 플루오로 에탄은 주로 에칭 제 및 세정제로서 반도체 재료 및 반도체 장치의 제조 공정 및 절연 가스 및 고 유전체 강도 냉각수로 사용됩니다.

포장 및 저장

헥사 플루오로 에탄은 CGA 타입 320 교체 가능한 표준 피팅에 일치하는 관절이있는 황동 밸브가 장착 된 고압 저항성 실린더로 채워집니다. 포장 사양은 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.

제품 디렉토리 : 반도체 전자 화학 물질 > 불소 함유 고순도 전자 특수 가스

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