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실리콘 테트라 플루오 라이드 SIF4 화학 특수 가스

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모형: High purity silicon tetrafluoride CAS#: 7783-61-1

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고순도 실리콘 테트라 플루오 라이드 CAS : 7783-61-1 SIF4 99.999%

5N 화학 전자 특수 가스

제품 소개

실리콘 테트라 플루오 라이드 (SIF ₄ )는 분자량이 104.06 인 일종의 무색, 독성, 매운 및 냄새 가스입니다. 실리콘 테트라 플루오 라이드는 쉽게 변미되어 젖은 공기에서 두꺼운 연기를 일으킬 수 있습니다. 실리콘 테트라 플루오 라이드는 에탄올, 에테르, 질산, 히드로 플루오산에 가용성이며, 흡혈성은 매우 강하고 SIF _4는 압력 하에서 액체로 변하기 때문에, 실리콘 테트라 플루오 라이드는 전자 산업에서 광범위한 응용 분야를 가지고있다.

품질 사양

Items	Units	Index
Silicon tetrafluoride（SiF₄）≥	Vol.%	99.999
Hydrogen（H₂）≤	Vol.ppm	1
Oxygen + Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	0.5
Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	4
Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	0.1
Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	0.3
Methane（CH₄）≤	Vol.ppm	1
Hydrogen sulfide（SH₂）≤	Vol.ppm	0.1
Oxygen（O₂）≤	Vol.ppm	0.1
Sulfur dioxide（SO₂）≤	Vol.ppm	10
Total impurity content≤	Vol.ppm	1
Hexafluorodimethyl silicone ether	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement
As、B、P	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement
Particle	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement

애플리케이션

실리콘 테트라 플루오 라이드는 주로 전자 산업에서 실리콘 질화물 및 탄탈 룸 실리 네스의 p- 타입 도펀트, 에칭 제 및 에피 택셜 증착 확산 실리콘 공급원으로 사용되며, SIF 4를 사용하여 전자 실란 또는 실리콘을 준비 할 수 _있다 . 또한, 실리콘 테트라 플루오 라이드는 태양 전지, 불소 산 및 실리콘 불소, 시멘트 및 인공 대리석의 경화에 사용될 수있다.

제품 디렉토리 : 반도체 전자 화학 물질 > 불소 함유 고순도 전자 특수 가스

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