Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
모형: Perfluoropropane CAS: 76-19-7 C3F8
지불 유형: L/C,T/T,Paypal
Perfluoropropane CAS : 76-19-7 반도체 Etchant C3F8 고순도 99.999% 5N 칩 에칭 재료
제품 소개
Perfluoropropane (C 3 F 8 )은 일종의 무색, 무취, 불꽃이없는 불활성 가스입니다. 정상 온도와 압력에서는 용융점이 183.0 ℃이고 끓는점은 36.7 ℃이며 물에 잘 어울립니다. 옥타 플루오로 프로판은 heptafluoropropane 및 불소 가스의 반응에 의해 생성 된 다음, 정제 및 정류 후 전자 등급 생성물을 얻었다. 전자 등급 옥타 플루오로 프로판은 반도체 재료 및 반도체 장치 제조에 사용됩니다. 옥타 플루오로 프로판 및 산소의 혼합물은 혈장 에칭 물질로서 사용되며, 이는 실리콘 웨이퍼의 금속 매트릭스와 선택적으로 상호 작용할 수있다. 또한, 생리 학적 저항성이 높기 때문에 주로 유리체 수술 후 필러 및 조영제로 사용됩니다.
품질 사양
|
Items |
Unit |
Indexs |
|
|
C3F8 |
Vol.% |
≥99.999 |
≥99.9995 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
＜1 |
＜0.5 |
|
N2 |
Vol.ppm |
＜5 |
＜1 |
|
CO |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CF4 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
C2F6 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CH4 |
Vol.ppm |
＜1 |
＜1 |
|
H2O |
Vol.ppm |
＜1 |
＜1 |
|
Acidity (Mesured by HF) |
Wt. ppm |
＜0.1 |
＜0.1 |
|
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
≤5 |
애플리케이션
반도체 산업에서, 옥타 플루오로 프로판은 혈장 에칭 물질로 사용된다; 의학에서, 옥타 플루오로 프로판은 유리체 수술 후 필러 및 조영제로 사용될 수있다. 옥타 플루오로 프로판은 또한 냉장 혼합물의 성분으로 사용됩니다.
포장 및 저장
퍼플 루오로 프로판은 특별한 치료로 깨끗하고 건조한 매끄러운 실린더로 채워집니다. 실린더 볼륨은 4L, 8L, 10L, 12.5L 및 40L 등입니다. 포장 사양은 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.
제품 디렉토리 : 반도체 전자 화학 물질 > 반도체/웨이퍼 에칭 재료
모바일 사이트
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