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C4F6 CAS : 685-63-2 헥사 플루오로 -1 3- 부타디엔 99.99% 4N
칩 에칭제
제품 사용
Hexafluoro-1,3- 부타디엔 (C 4 F 6 )은 일종의 무색, 무취 및 물 불용성 가스입니다. 정상 온도 및 압력에서, 용융점은 132.0 ℃이고, 끓는점은 5.9 ℃이다. hexafluoro-1,3- 부타디엔은 6 개의 불소 원자와 2 개의 탄소-탄소 이중 결합을 함유하는 일종의 공액 올레핀이다. 에칭 가스, 고유 한 F/C 비율, Hexafluoro-1,3-Butadienehas 전통적인 퍼플 루오 리화 된 포화 플루오로 카본 에칭 가스보다 높은 에칭 선택, 정확도 및 종횡비보다 헥사 플루오로 -1,3- 부타디엔은 100 nm 미만으로 에칭 할 수 있습니다. 더 좁은 전자 회로조차도. 또한, C 4 F 6은 C 4 F 8 의 광자 및 실리콘 질화물의 선택적 비율이 더 높으며 , 이는 에칭 안정성, 에칭 속도 및 균일 성을 향상시켜 제품 품질을 향상시킬 수있다.
제품 매개 변수
Items |
Unit |
Index |
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
Measured by HF) |
Wt.ppm |
≤2 |
애플리케이션
반도체 제품의 혈장 에칭을위한 에칭 가스로 사용됩니다.
포장 및 저장
Hexafluoro-1,3- 부타디엔은 B10 모델, 크기 14cm × 83cm, 내부 부피 10.1l, 총 중량 14.7kg, 페이로드 10kg을 갖는 강철 실린더로 채워집니다. 포장 사양은 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.
제품 디렉토리 : 반도체 전자 화학 물질 > 반도체/웨이퍼 에칭 재료
모바일 사이트
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